記者5月16日獲悉，沈陽市重點(diǎn)技術(shù)攻關(guān)“揭榜掛帥”項(xiàng)目榜單于日前發(fā)布，31個(gè)“揭榜掛帥”項(xiàng)目對(duì)外張榜發(fā)布。榜單圍繞統(tǒng)籌做好改造升級(jí)“老字號(hào)”、深度開發(fā)“原字號(hào)”、培育壯大“新字號(hào)”結(jié)構(gòu)調(diào)整“三篇大文章”，聚焦IC裝備、智能制造等12條重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈和網(wǎng)絡(luò)安全、5G基礎(chǔ)設(shè)施及應(yīng)用、人工智能、智能終端、智能傳感器等5個(gè)智慧產(chǎn)業(yè)方向，著重產(chǎn)業(yè)應(yīng)用和企業(yè)急需，以解決產(chǎn)業(yè)鏈和技術(shù)“卡脖子”問題為主攻方向。

IC裝備方向包括八大項(xiàng)目。其中，“集成電路裝備用氣體質(zhì)量流量控制器閥塊流道超精拋光關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項(xiàng)目揭榜任務(wù)為：圍繞突破集成電路裝備用氣體質(zhì)量流量控制器閥體流道超精拋光技術(shù)，進(jìn)行復(fù)雜精密交叉孔超精密拋光工藝開發(fā)及專用設(shè)備研制，通過對(duì)超精表面拋光關(guān)鍵技術(shù)突破，解決集成電路裝備零部件的國產(chǎn)化配套瓶頸問題等。“集成電路裝備零部件高致密耐刻蝕氧化釔涂層制備關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項(xiàng)目揭榜任務(wù)為：圍繞解決我國目前集成電路裝備中關(guān)鍵零部件依賴進(jìn)口及國內(nèi)制造和防護(hù)技術(shù)無法滿足要求問題，采取合適方法來消除涂層沉積過程中的大顆粒問題，消除由大顆粒所帶來的涂層致密度差不耐腐蝕問題，從而有效保障涂層成分及性能的均勻性等。

本次“揭榜掛帥”項(xiàng)目向國內(nèi)外高校、科研院所、企業(yè)、新型研發(fā)機(jī)構(gòu)等征集揭榜單位，揭榜方應(yīng)符合具有獨(dú)立法人資格，與技術(shù)需求提出企業(yè)(發(fā)榜方)無關(guān)聯(lián)關(guān)系;具有較強(qiáng)研發(fā)實(shí)力、完備的科研條件和由高層次人才領(lǐng)軍的穩(wěn)定的科研人員隊(duì)伍等條件。揭榜方與發(fā)榜方達(dá)成共識(shí)后，將簽訂技術(shù)合同，確定項(xiàng)目實(shí)施內(nèi)容、考核指標(biāo)、科研周期、技術(shù)交易額、支付方式、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)等，并在技術(shù)市場(chǎng)完成登記備案。

據(jù)悉，經(jīng)公示無異議項(xiàng)目，將列入本年度沈陽市級(jí)科技計(jì)劃，按照沈陽市科技計(jì)劃項(xiàng)目管理相關(guān)規(guī)定組織開展技術(shù)攻關(guān)。沈陽市科技創(chuàng)新專項(xiàng)資金對(duì)發(fā)榜方按照不超過技術(shù)交易額50%的標(biāo)準(zhǔn)，給予揭榜項(xiàng)目資金資助。